MEF2013 Countdown - Forum Exhibitors

サムコ

MEMS事業への取り組み

 当社は、2003年に日本の装置メーカーとして初めて、Boschプロセスのライセンスを独Robert Boschより供与されています。Boschプロセスは、Siディープエッチングのエッチングプロセスと側壁に対する成膜プロセスを交互に繰り返すことで、高い選択比を保持し、高異方性エッチングを可能にする技術であり、加速度センサ、ジャイロセンサなどの車載部品分野、μTASなどの医療分野、3次元デバイスなどで幅広く使用されています。

 2004年には、実績の豊富なトルネードICP®をベースに開発したBoschプロセス専用ICPエッチング装置「RIE-200iPB」を、表面マイクロマシニング向けに市場投入しています。

 2006年には、ウエハー貫通などを目指す10μm/min以上の高速エッチングへの要求に応えるため、Siの高速エッチングに最適な構造を持つ「RIE-800iPB」を新たに開発しました。さらに、カセット式本格量産用「RIE-800iPBC」、研究開発用「RIE-400iPB」も市場投入しています。

 エッチング装置以外に、液体ソースを原料に使ったプラズマCVD装置「PD-270STL」をラインナップ。MEMS向けのパッシベーション膜、絶縁膜に最適な高品質の厚膜の成膜が可能です。「PD-270STL」は、カソード側の高いシース電界で得られるイオンエネルギーにより、薄膜から厚膜までのSi酸化膜を低ストレスで形成することが可能です。さらに、ロードロック室を装備しており、量産に適しています。また、MEMSプロセスにおける自立デバイス形成時の犠牲層(Si)エッチングを主目的とするXeF2エッチング装置「VPE-4F」や、フォトレジストの除去に用いるバッチ式のプラズマクリーナー「PC-1100」なども取りそろえています。

 当社は、今後も分野を問わずに、新しい技術、新しい材料へ挑戦していきます。

出展製品の紹介

   RIE-800iPBC
   RIE-800iPBC
  • 量産用高速Siディープエッチング装置「RIE-800iPBC」
  • 研究開発用高速Siディープエッチング装置「RIE-400iPB」
  • SiO2厚膜形成用プラズマCVD装置「PD-270STL」
  • トレーカセット式量産用プラズマCVD装置「PD-220LC」

 

 

Column’s Author

Sinichi Kato is a freelance writer and editor specializing in MEMS, semiconductor, display, and energy-related technologies. He also conducts various projects in research, event planning and consulting on a broader range of topics such as electronics, city planning, lifestyle, and culture.

From 2008 to 2010, Mr. Kato worked as a staff writer and editor for the Nikkei Microdevices magazine and the Tech-On! online technical media at Nikkei Business Publications. Before joining Nikkei Business, he worked for Electronic Journal, Inc. as a staff writer and editor for Electronic Journal, a publication dedicated to electronics, since 2002. Mr. Kato graduated from Chuo University in Tokyo in 1999 with a BA degree in literature.

 

加藤 伸一 略歴:

MEMSや半導体、ディスプレイやエネルギー関連デバイスなどの専門誌における経験をもとに、エレクトロニクスから街づくり、衣食を中心とした生活、文化関連まで、幅広い分野で活動するジャーナリスト。産業技術総合研究所 集積マイクロシステム研究グループ広報担当。

2002年~2008年 株式会社電子ジャーナル(Electronic Journal, Inc.)にて、エレクトロニクス専門誌「Electronic Journal」の記者。

2008年~2010年 株式会社日経ビーピー(Nikkei Business Publications, Inc.)にて、電子でバイス専門誌「Nikkei Microdevices」や、技術系webサイト「Tech-On !」の記者。

2010年~ フリーランスのジャーナリストとして、各種調査、イベント企画、コンサルティングなどの領域で活動中。

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