MEF2013 Countdown - Forum Exhibitors

イーヴィグループジャパン

MEMS事業への取り組み

 イーヴィグループ(EVG)は、半導体、MEMS、ナノテクノロジー等のアプリケーション向けウェーハプロセス装置のグローバルサプライヤーです。ウェーハボンダーにおける圧倒的なシェアを誇るEVGは、MEMS、ナノインプリント、先端パッケージング市場でリーダーの地位を確立しており、常に新しい技術を目指して研究開発に力を入れております。

 特にMEMS分野においては、通常の半導体プロセス技術に加え、MEMS特有の両面リソグラフィー、位置合わせウェーハ接合、高段差面へのレジストプロセスなど、高度な製造技術が要求されます。EVGは、MEMS製造に必要な、ユニークかつ幅広い装置ソリューションを提供しています。これらには、レジスト塗布装置、片面あるいは両面アライメントが可能な露光装置、レジスト現像装置、位置合わせウェーハ接合装置を含みます。特に両面露光用マスクアライナーは、MEMS用途でEVGが1985年に世界に先駆けて開発し、製品化しました。

 EVGは、MEMS市場において初期の段階から製造装置とプロセスノウハウを提供して来ており、これにより現在のリーディングサプライヤーとしての地位を築いて参りました。EVGのトリプルiコンセプト(Invent, Innovate, and Implement)により、今後もMEMSのお客様に最先端MEMSソリューションを継続して提供していきます。

出展製品の紹介

【塗布/現像装置】

  • 段差MEMS基板へのコンフォーマル塗布が可能なスプレーコーター(EVG101S)
  • 薄膜から100um厚膜までの塗布が可能なスピンコーター(EVG101C)
  • パドル・スプレー現像、メガソニッククリーニングが可能な現像装置(EVG101D)
  • 全自動レジスト処理装置(EVG120/EVG150)

 

【両面マスクアライナー/ボンドアライナー】

  • 個片から6インチまで対応するマニュアル機(EVG610)
  • 個片から6インチまで対応するセミオート/全自動機(EVG620)
  • 8インチまで対応するセミオート/全自動機(EVG6200)
  • 12インチまで対応する全自動ボンドアライナー(SmartView)

 

【ウェーハ接合装置】

  • 個片から6インチまで対応するマニュアル機(EVG510)
  • 個片から8インチ、チップtoウェーハにも対応するマニュアル機(EVG520)
全自動レジスト処理装置EVG150
全自動レジスト処理装置EVG150

Column’s Author

Sinichi Kato is a freelance writer and editor specializing in MEMS, semiconductor, display, and energy-related technologies. He also conducts various projects in research, event planning and consulting on a broader range of topics such as electronics, city planning, lifestyle, and culture.

From 2008 to 2010, Mr. Kato worked as a staff writer and editor for the Nikkei Microdevices magazine and the Tech-On! online technical media at Nikkei Business Publications. Before joining Nikkei Business, he worked for Electronic Journal, Inc. as a staff writer and editor for Electronic Journal, a publication dedicated to electronics, since 2002. Mr. Kato graduated from Chuo University in Tokyo in 1999 with a BA degree in literature.

 

加藤 伸一 略歴:

MEMSや半導体、ディスプレイやエネルギー関連デバイスなどの専門誌における経験をもとに、エレクトロニクスから街づくり、衣食を中心とした生活、文化関連まで、幅広い分野で活動するジャーナリスト。産業技術総合研究所 集積マイクロシステム研究グループ広報担当。

2002年~2008年 株式会社電子ジャーナル(Electronic Journal, Inc.)にて、エレクトロニクス専門誌「Electronic Journal」の記者。

2008年~2010年 株式会社日経ビーピー(Nikkei Business Publications, Inc.)にて、電子でバイス専門誌「Nikkei Microdevices」や、技術系webサイト「Tech-On !」の記者。

2010年~ フリーランスのジャーナリストとして、各種調査、イベント企画、コンサルティングなどの領域で活動中。

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