MEF2013 Countdown - Forum Exhibitors

伯東

MEMS事業への取り組み

当社は、専門商社として、国内外のユニークな製品をお客様にご提供できるよう努めております。

 

<MEMS関連装置>

*ナノインプリント装置/モレキュラインプリンツ

*高性能電子ビーム描画装置/ヴィステックリソグラフィー

*研究開発用電子ビーム描画装置/ライツ

*FIB-SEMダブル(トリプル)ビーム装置/日立ハイテクサイエンス

*高性能集束イオンビーム装置/日立ハイテクサイエンス

*ナノ加工顕微鏡装置/日立ハイテクサイエンス

*走査型プローブ顕微鏡/日立ハイテクサイエンス

*PZT薄膜スパッタ装置/エリコン・バルザーズ

出展製品の紹介

◆イオンビームミリング装置とは…

サンプルにイオンビームを照射し、様々な加工を行う装置です。現在では、ドライプロセスでの微細加工の有力な方法として、磁気ヘッド/センサ、半導体素子等の分野で広く使用されています。

<特徴>

*研究開発から量産用途まで対応できる幅広いラインナップ

*カウフマン型イオンソースを搭載→良好な再現性、高いミリングレート

*イオンビーム入射角度を変更可能→ミリング形状の最適化

*ステージは直接冷却方式を選択可能→基板の過昇温防止

*ステージの自公転機能を保有→優れた面内均一性

*プロセスのオート化対応→優れた操作性

*終点検知器(EPD)をオプション搭載→ジャストエッチング

<主な用途>

*高周波デバイス

*光学素子

*磁気センサ

*磁気ヘッド

 

◆分子気相成膜装置とは…

Molecular Vapor Deposition(分子気相成膜)はAMST社の商標登録で、同一チャンバ内でSAM (自己組織化膜)、ALD膜(原子層堆積)、CVD(化学気相成長)が可能です。

駆動部周辺に固着(スティッキング)防止膜や腐食・酸化保護膜を形成することにより、MEMS品質・歩留まり向上に寄与します。

<特徴>

*高材料効率

*R&Dから量産まで対応

*独自プリカーサマネジメント

*SECS/GEM対応

<主な用途>

*固着(スティッキング)防止膜

*酸化・腐食保護膜

 

Column’s Author

Sinichi Kato is a freelance writer and editor specializing in MEMS, semiconductor, display, and energy-related technologies. He also conducts various projects in research, event planning and consulting on a broader range of topics such as electronics, city planning, lifestyle, and culture.

From 2008 to 2010, Mr. Kato worked as a staff writer and editor for the Nikkei Microdevices magazine and the Tech-On! online technical media at Nikkei Business Publications. Before joining Nikkei Business, he worked for Electronic Journal, Inc. as a staff writer and editor for Electronic Journal, a publication dedicated to electronics, since 2002. Mr. Kato graduated from Chuo University in Tokyo in 1999 with a BA degree in literature.

 

加藤 伸一 略歴:

MEMSや半導体、ディスプレイやエネルギー関連デバイスなどの専門誌における経験をもとに、エレクトロニクスから街づくり、衣食を中心とした生活、文化関連まで、幅広い分野で活動するジャーナリスト。産業技術総合研究所 集積マイクロシステム研究グループ広報担当。

2002年~2008年 株式会社電子ジャーナル(Electronic Journal, Inc.)にて、エレクトロニクス専門誌「Electronic Journal」の記者。

2008年~2010年 株式会社日経ビーピー(Nikkei Business Publications, Inc.)にて、電子でバイス専門誌「Nikkei Microdevices」や、技術系webサイト「Tech-On !」の記者。

2010年~ フリーランスのジャーナリストとして、各種調査、イベント企画、コンサルティングなどの領域で活動中。

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