MEF2013 Countdown - Forum Exhibitors

協同インターナショナル

お客様のニーズ・ご予算に応じた、最適なMEMS開発ソリューションをご提案。

試作から量産まで、“一貫したMEMSファウンドリサービス“をご提供します!

MEMS事業への取り組み

 試作~少量生産対応

・永年培った受託加工のノウハウを活かし、お客様の要望にお応えする最適な加工方法を提供します。

 量産対応

・Pure Play MEMSファウンドリ

 Silex Microsystems社との提携により、様々なMEMSデバイスに対応します。

・φ6”、φ8”MEMS専用ラインを保有しています。

 MEMS開発ツール

・MEMSデバイス製造に関係するMEMS開発ツールを提案します。

出展製品の紹介

 試作~少量生産対応

・圧電素子向けの高品質なPZT膜を提供

 パルスレーザー堆積法(PLD法)にて、圧電定数d31~130pm/V、d33~180pm/Vを実現。φ8”基板へも対応可能です。

・半導体前工程の設備を保有

 成膜加工からフォトリソ・エッチング、CMPまで一貫工程で受託対応します。

 量産対応

・Silex Microsystems社との提携

 MEMSファウンドリ世界No.1の実績・経験から、最適な加工プロセスを提案します。

・独自技術のご紹介

 Sil-Via(オールSi貫通電極)、Met-Cap(中空構造のCu-TSV)

 MEMS開発ツール

・ウェハ接合装置”AMLウェハボンダ―”

 アラインメントから接合までを同一チャンバーで処理可能。

 ±1μmの位置合わせ精度を実現します。

・パルスレーザー堆積法(PLD法)成膜装置”PiezoFlare 1200”

 φ4”、φ6”、φ8”基板への成膜が可能。高品質なPZT膜の成膜が可能です。

 独自のDroplet Trapモジュールを採用することにより、100Vの破壊電圧を実現します。(膜厚1μm時)

・樹脂製多目的スピンコーター“POLOS”

 コート、エッチング、現像、乾燥と様々な加工ができます。

・両面露光マスクアライナー”OAI Model 800”

 MEMS開発に最適なコンパクト設計の露光装置です。

       Si貫通電極(Sil-Via)
       Si貫通電極(Sil-Via)

Column’s Author

Sinichi Kato is a freelance writer and editor specializing in MEMS, semiconductor, display, and energy-related technologies. He also conducts various projects in research, event planning and consulting on a broader range of topics such as electronics, city planning, lifestyle, and culture.

From 2008 to 2010, Mr. Kato worked as a staff writer and editor for the Nikkei Microdevices magazine and the Tech-On! online technical media at Nikkei Business Publications. Before joining Nikkei Business, he worked for Electronic Journal, Inc. as a staff writer and editor for Electronic Journal, a publication dedicated to electronics, since 2002. Mr. Kato graduated from Chuo University in Tokyo in 1999 with a BA degree in literature.

 

加藤 伸一 略歴:

MEMSや半導体、ディスプレイやエネルギー関連デバイスなどの専門誌における経験をもとに、エレクトロニクスから街づくり、衣食を中心とした生活、文化関連まで、幅広い分野で活動するジャーナリスト。産業技術総合研究所 集積マイクロシステム研究グループ広報担当。

2002年~2008年 株式会社電子ジャーナル(Electronic Journal, Inc.)にて、エレクトロニクス専門誌「Electronic Journal」の記者。

2008年~2010年 株式会社日経ビーピー(Nikkei Business Publications, Inc.)にて、電子でバイス専門誌「Nikkei Microdevices」や、技術系webサイト「Tech-On !」の記者。

2010年~ フリーランスのジャーナリストとして、各種調査、イベント企画、コンサルティングなどの領域で活動中。

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  東京大学 三宅研究室

 

  東北大学 桑野研究室

  

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    コンソーシアム

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