MEF2013 Countdown - Forum Exhibitors

日本レーザー

MEMS事業への取り組み

 MEMS事業に不可欠な、レーザーパターニング事業や静電式パターニング装置等を提供すると同時に、MEMSの生産等を踏まえた、UV式インプリント装置及び熱式インプリント装置や、それに関連するNiモールドや樹脂モールド、また石英モールドの製作等を通じ、MEMS事業の発展に貢献しています。

 また、MEMS製品の検査装置、例えばウエハー貼合せの欠陥検査や、小型で操作性の高いSEM等をお客様の要望により提供し、トータルソリューションの提供を目指しています。

出展製品の紹介

  1. μPG501 マスクレスリソグラフィーシステム:
    最小描画サイズ1μmで、描画速度が50㎜2/分と高速の直接描画可能。高品質マスク作成も可能な上位機種DWLシリーズも、パネルにてご紹介。
  2. Q-jet静電式塗布装置:
    高粘度材料・金属ナノペーストの塗布や精密パターニング等をパネルで紹介。
  3. UV式インプリント装置:
    ローラータイプと空圧プレス式やく圧プレス真空タイプ等、お客様の要望に沿ったシステムの提供を実現。その他熱式のタイプもご提供可能。
  4. JCM6000走査型電顕:
    コンパクトで操作性抜群。パネル展示でのご紹介。
  5. 高精細超音波顕微鏡 V-シリーズ:
    接合ウエハー、ウェハバンプ、TSV等の欠陥検査装置。高性能プローブと高分解能スキャナー及 び画像処理技術により、高精細なイメージングを実現。X線では検出されにくい剥離約ラック等の検査に最適です。スタンダードなシステムからマルチ ヘッ ドで超高タクトを実現するシステムまで幅広いラインアップを用意しています。

Column’s Author

Sinichi Kato is a freelance writer and editor specializing in MEMS, semiconductor, display, and energy-related technologies. He also conducts various projects in research, event planning and consulting on a broader range of topics such as electronics, city planning, lifestyle, and culture.

From 2008 to 2010, Mr. Kato worked as a staff writer and editor for the Nikkei Microdevices magazine and the Tech-On! online technical media at Nikkei Business Publications. Before joining Nikkei Business, he worked for Electronic Journal, Inc. as a staff writer and editor for Electronic Journal, a publication dedicated to electronics, since 2002. Mr. Kato graduated from Chuo University in Tokyo in 1999 with a BA degree in literature.

 

加藤 伸一 略歴:

MEMSや半導体、ディスプレイやエネルギー関連デバイスなどの専門誌における経験をもとに、エレクトロニクスから街づくり、衣食を中心とした生活、文化関連まで、幅広い分野で活動するジャーナリスト。産業技術総合研究所 集積マイクロシステム研究グループ広報担当。

2002年~2008年 株式会社電子ジャーナル(Electronic Journal, Inc.)にて、エレクトロニクス専門誌「Electronic Journal」の記者。

2008年~2010年 株式会社日経ビーピー(Nikkei Business Publications, Inc.)にて、電子でバイス専門誌「Nikkei Microdevices」や、技術系webサイト「Tech-On !」の記者。

2010年~ フリーランスのジャーナリストとして、各種調査、イベント企画、コンサルティングなどの領域で活動中。

MEF 2017 Partner

MEDIA PARTNER

MEF 2017 Sponsor

MEF 2017 Exhibitors

  東京大学 三宅研究室

 

  東北大学 桑野研究室

  

  4大学ナノ・マイクロ

   ファブリケーション

    コンソーシアム

MEF Partner News - MEMS and Sensors Industry Group(MSIG)