MEF2015 - Forum Exhibitors

ウシオ電機

【出展製品】

■露光装置UXシリーズ

  □装置関わる技術を全て自社設計!

    設計・組立・検査を全て自社で実施しており、ブラックボックスがありません。

    ・光源

    ・光学系・ランプハウス

    ・レンズ

    ・電源

    ・メカ

    ・ソフト

    ・電気

  □3種類の露光方式に対応!

    お客様のニーズに適切な露光方式をご提案できます。

    ・コンタクト/プロキシミティ

    ・プロジェクション

    ・ステッパー

  □お客様のニーズへの対応

    ・非接触露光

    ・高生産性

    ・3次元露光(高焦点深度)

    ・厚膜プロセス

    ・難認識アライメントマーク対応

 

■VUVアライナー

  □従来の露光工程から工程数削減

  □実験から量産まで対応

  □光源メーカーだから実現できる、VUV波長の点光源

    ・微細パターニングが可能

  □装置メーカーだから実現できる、装置ご提案

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MEF 2017 Exhibitors

  東京大学 三宅研究室

 

  東北大学 桑野研究室

  

  4大学ナノ・マイクロ

   ファブリケーション

    コンソーシアム

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