MEF2015 - Forum Exhibitors

【出展製品】

■露光装置UXシリーズ

　　□装置関わる技術を全て自社設計！

　　　 設計・組立・検査を全て自社で実施しており、ブラックボックスがありません。

　　　　・光源

　　　　・光学系・ランプハウス

　　　　・レンズ

　　　　・電源

　　　　・メカ

　　　　・ソフト

　　　　・電気

　　□3種類の露光方式に対応！

　　　 お客様のニーズに適切な露光方式をご提案できます。

　　　　・コンタクト/プロキシミティ

　　　　・プロジェクション

　　　　・ステッパー

　　□お客様のニーズへの対応

　　　　・非接触露光

　　　　・高生産性

　　　　・３次元露光（高焦点深度）

　　　　・厚膜プロセス

　　　　・難認識アライメントマーク対応

■VUVアライナー

　　□従来の露光工程から工程数削減

　　□実験から量産まで対応

　　□光源メーカーだから実現できる、VUV波長の点光源

　　　　・微細パターニングが可能

　　□装置メーカーだから実現できる、装置ご提案