MEF2015 - Forum Exhibitors

【MEMS事業への取り組み】

　SPPテクノロジーズ（SPT）は、2011年12月に住友精密工業と英国SPTS Technologies社(SPTS社)による合弁会社として設立されました。

　SPTは、MEMSデバイス製造に必要不可欠なSi深掘り装置(DRIE装置)をはじめ、SiO2及びSiの犠牲層ドライエッチング装置、PE-CVD、SiO2エッチング装置等の開発・製造・販売を行っています。

　特に、DRIE装置のデファクトスタンダードとして広く好評を得ているASEは、1995年に英国Surface Technology Systems社(現SPTS社)が世界に先駆け投入したDRIE装置であり、ボッシュプロセスに独自特許技術であるパラメーターランピング技術やマルチフェーズプロセス、SOIアップグレード技術等を加えて確立したものです。これらにより、高精度、高アスペクト比の加工形状が高いマスク選択比で形成可能です。そして、今日のMEMSデバイス発展に大きく寄与し、トリリオン・センサ社会の実現に向けて重要な役割を担うものとして期待されています。

　また、SPTはDRIE装置のトップシェアを維持する為、現在も開発を進めており、2012年に新プラズマ源を搭載した最新鋭機「Predeus（プレデウス）」を開発・リリースしました。さらに、ミニマル装置も開発し、ラインナップを拡大しております。そして、大学や研究機関向け研究開発装置ASE-SREから量産装置Predeus、Pegasus等幅広くユーザーのニーズに対応しています。

　今後も、MEMS製造におけるプロセス技術と装置開発を進め、ユーザーに最新の技術を提供するとともに、社会の発展に貢献してまいります。

【出展製品の紹介】

• DRIE装置：　ASEシリーズ(Predeus、Pegasus、Pegasus300、SRE)
  
• SiO2犠牲層エッチング装置：　SLE-Oｘ、米国SPTS社Primaxx-uEtch
  
• Si犠牲層エッチング装置：　英国SPTS社XACTIX-Xetchシリーズ(X4、e1)
  
• SiC・化合物／酸化膜エッチング装置：　APS
  
• プラズマ成膜装置：　PE-CVD、英国SPTS社Delta
  
• 金属膜成膜装置(PVD)：　英国SPTS社Sigma
  
• 熱処理装置：　米国SPTS社AVP/RVP
  
• ミニマル装置(DRIE、プラズマTEOS-CVD、メタルエッチング)　等のパネル展示