MEF2015 - Forum Exhibitors

～世界最高レベルの清浄空間でコンタミ問題を解決～

高い清浄度が求められるMEMS研究・製造の現場において、クリーン化は大きな課題とされています。目に見えないサイズのチリやホコリ（以下コンタミ）があるだけでも不良製品を生んでしまうMEMSの現場において、コンタミのないクリーンスペース・ルームを実現することで、歩留まりは格段に向上します。

しかし、クリーンルームは密閉建屋タイプが一般的であり、初期投資は莫大なものであるため、なかなか導入できない現状がありました。そのような中、建屋ではなく設備機器となるのでコストが安く、またオープンで使い勝手の良いクリーン化技術「ＫＯＡＣＨ」が開発されました。高清浄度をオープンスペースで実現し、コストも低い本技術はMEMSの可能性を拡げる新技術として期待されています。

従来のクリーンルームとKOACHの違い

～平時にも有事にもメリットは多大～

●建屋ではなく設備機器となるので、コストが低い

　　　クリーンルーム型の数分の一の費用で導入可能

●短時間で設営可能

　　　ルーム型でも設営は約2週間で可能

●清浄度が高い

　　　ISOクラス１のスーパークリーン空間を形成

●立ち上がりが早い

　　　約2分でスーパークリーン状態に

●作業性が高い

　　　オープンなので見通しがよく、ハンドリングが快適

●可動性、拡張性が高い

　　　持ち運ぶ、動かす、作業スペースを縮小・拡張できる。

　　　使いたいところをクリーン空間にできる。

●消費電力が低い

　　　消費電力量は一般のクリーンルームの1/3以下。

　　　作業時間外はスリープモード使用で1/10以下（ルーム型の場合）

●簡単メンテナンス

　　　フィルタの目詰まりに合わせてファンの動きを自動制御。

　　　プレフィルタ交換は半年〜1年に１回

　　　（メインフィルターは5～6年に１回。

　　　　　　テーブルコーチで通常清浄度の場合）

　　　交換は誰でも簡単

～有事の際の優位性～

●クリーンルームのように天井に重量物がないので

　大地震の際でも受ける被害が少なくて済む

●システムがコンパクトなので復旧も簡単

●消費電力が少なく、電力制限時でも自家発電機で稼働可能

☆MEF2015では卓上型の小型機の展示を実施します☆

挟んだ空間をオープン状態でありながらクリーンルーム以上の清浄エリアとすることが可能です。展示会場内で世界一クリーンな空間を体感いただけます。

是非実機でその性能をご確認ください。