MEF2015 - Forum Exhibitors

興研

~世界最高レベルの清浄空間でコンタミ問題を解決~

 

高い清浄度が求められるMEMS研究・製造の現場において、クリーン化は大きな課題とされています。目に見えないサイズのチリやホコリ(以下コンタミ)があるだけでも不良製品を生んでしまうMEMSの現場において、コンタミのないクリーンスペース・ルームを実現することで、歩留まりは格段に向上します。

しかし、クリーンルームは密閉建屋タイプが一般的であり、初期投資は莫大なものであるため、なかなか導入できない現状がありました。そのような中、建屋ではなく設備機器となるのでコストが安く、またオープンで使い勝手の良いクリーン化技術「KOACH」が開発されました。高清浄度をオープンスペースで実現し、コストも低い本技術はMEMSの可能性を拡げる新技術として期待されています。

 

従来のクリーンルームとKOACHの違い

~平時にも有事にもメリットは多大~

 

●建屋ではなく設備機器となるので、コストが低い

   クリーンルーム型の数分の一の費用で導入可能

●短時間で設営可能

   ルーム型でも設営は約2週間で可能

●清浄度が高い

   ISOクラス1のスーパークリーン空間を形成

●立ち上がりが早い

   約2分でスーパークリーン状態に

●作業性が高い

   オープンなので見通しがよく、ハンドリングが快適

●可動性、拡張性が高い

   持ち運ぶ、動かす、作業スペースを縮小・拡張できる。

   使いたいところをクリーン空間にできる。

●消費電力が低い

   消費電力量は一般のクリーンルームの1/3以下。

   作業時間外はスリープモード使用で1/10以下(ルーム型の場合)

●簡単メンテナンス

   フィルタの目詰まりに合わせてファンの動きを自動制御。

   プレフィルタ交換は半年〜1年に1回

   (メインフィルターは5~6年に1回。

      テーブルコーチで通常清浄度の場合)

   交換は誰でも簡単

 

~有事の際の優位性~

●クリーンルームのように天井に重量物がないので

 大地震の際でも受ける被害が少なくて済む

●システムがコンパクトなので復旧も簡単

●消費電力が少なく、電力制限時でも自家発電機で稼働可能

 

☆MEF2015では卓上型の小型機の展示を実施します☆

挟んだ空間をオープン状態でありながらクリーンルーム以上の清浄エリアとすることが可能です。展示会場内で世界一クリーンな空間を体感いただけます。

是非実機でその性能をご確認ください。

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