MEF2015 - Forum Exhibitors

クノーテクノクラフト

【出展製品】

 両面ズレ検査装置 GEMINI

高精度な表裏パターンズレ測定が可能です。

分解能 0.167μm  *10倍対物レンズ時

再現性 0.03μm  *指定サンプル

  • 自動測定対応
  • アライメントマーク自動検出
  • 測定位置、測定内容レシピ作成機能

Gold Sponsors

Sony Corporation

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EXHIBITORS

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Venture Exhibitors

Academia Exhibitors

The Microfluidic Integrated Circuits Laboratory at The University of Tokyo

(Miyake Lab)

4 University Nano Micro Fabrication Consortium