MEF2015 - Forum Exhibitors

【出展製品】

　両面ズレ検査装置 GEMINI

高精度な表裏パターンズレ測定が可能です。

分解能 0.167μm 　＊10倍対物レンズ時

再現性 0.03μm 　＊指定サンプル

• 自動測定対応
  
• アライメントマーク自動検出
  
• 測定位置、測定内容レシピ作成機能