【出展製品】
両面ズレ検査装置 GEMINI
高精度な表裏パターンズレ測定が可能です。
分解能 0.167μm *10倍対物レンズ時
再現性 0.03μm *指定サンプル
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自動測定対応
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アライメントマーク自動検出
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測定位置、測定内容レシピ作成機能
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