MEF2015 - Forum Exhibitors

クノーテクノクラフト

【出展製品】

　両面ズレ検査装置 GEMINI

高精度な表裏パターンズレ測定が可能です。

分解能 0.167μm 　＊10倍対物レンズ時

再現性 0.03μm 　＊指定サンプル

  • 自動測定対応
  • アライメントマーク自動検出
  • 測定位置、測定内容レシピ作成機能
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The Microfluidic Integrated Circuits Laboratory at The University of Tokyo

(Miyake Lab)

４ University Nano Micro Fabrication Consortium