MEF2015 - Forum Exhibitors

アドバンストテクノロジー

【出展製品】

MEMS設計解析ソフトIntelliSuite

IntelliSuiteは米国:IntelliSense社で開発された、MEMS用統合解析ソフトウェア。

IntelliSense社はソフトウェアサービスに限らず、光ミラーをはじめ、各種MEMSデバイス製品のコンサルティング、試作サービスなど、Total MEMS Solutionを世界中の顧客に提供している。最新バージョン8.8をリリース。

 

-主なソフトウェア機能、アップデートとサービス-

・マスク設計から、プロセス設計、エッチング解析、デバイス設計、システム設計、MEMS概略設計までMEMS設計全般をサポートする統合ツール

MEMS向けデバイス解析、材料物性機能の強化

・マスクエディタ画像処理による大規模モデル対応強化

・プロセスモデリング画像処理の強化

3次元CADデータ出力機能の強化

・オートメッシュ作成機能の強化

Siウェットエッチングレート抽出機能の強化

Deep-RIEエッチング校正機能の追加による解析精度の向上

・露光シミュレーション機能の強化

・金属材料エッチングシミュレーション

REMEMS向け高周波数電磁界解析機能の強化

・自動計算管理機能のリリース

・システムデータ出力機能の強化

・プロセス加工表面の3次元データ化ツールNanoViewerのリリース

MEMSコンサルティング、ファウンダリーサービス

 

■光集積設計解析ソフトPhoeniX

PhoeniXはオランダ:PhoeniXSoftware社で開発された、光集積分野の設計解析ソフトウェア。

PhoeniXSoftware社はマイクロ・ナノテクノロジー産業(特に光学集積分野)において豊富な知識・経験を有した会社であり、世界中の顧客にデザイン設計・製造コンサルティングサービスを提供している。

 

-主なソフトウェア機能とサービス-

FDTD/BPM法による光導波路解析

・光導波路モード解析ソルバー

・光回路システムシミュレーション

・欧州のファブサービスと連携するマスクエディタ

・ファウンダリーサービス

Gold Sponsors

Sony Corporation

Silver Sponsors

Bronze Sponsors

EXHIBITORS

Gold Exhibitors

Venture Exhibitors

Academia Exhibitors

The Microfluidic Integrated Circuits Laboratory at The University of Tokyo

(Miyake Lab)

4 University Nano Micro Fabrication Consortium