MEF2014 - Forum Exhibitors

SPPテクノロジーズ

出展製品紹介

  • ASEシリーズ(Predeus、Pegasus、Pegasus300、SRE)
  • SiO2犠牲層エッチング装置: SLE-Ox、米国SPTS社uEtch
  • Si犠牲層エッチング装置: 米国XACTIX社Xetchシリーズ(X4、e1)
  • 化合物・酸化膜エッチング装置: APS
  • SiCエッチング装置: APS
  • プラズマ成膜装置: PE-CVD、英国SPTS社Delta
  • 金属膜成膜装置(PVD): 英国SPTS社Sigma
  • 熱処理装置: 米国SPTS社AVP/RVP 等のパネル展示

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MEF 2017 Exhibitors

  東京大学 三宅研究室

 

  東北大学 桑野研究室

  

  4大学ナノ・マイクロ

   ファブリケーション

    コンソーシアム

MEF Partner News - MEMS and Sensors Industry Group(MSIG)