- ASEシリーズ(Predeus、Pegasus、Pegasus300、SRE)
- SiO2犠牲層エッチング装置: SLE-Ox、米国SPTS社uEtch
- Si犠牲層エッチング装置: 米国XACTIX社Xetchシリーズ(X4、e1)
- 化合物・酸化膜エッチング装置: APS
- SiCエッチング装置: APS
- プラズマ成膜装置: PE-CVD、英国SPTS社Delta
- 金属膜成膜装置(PVD): 英国SPTS社Sigma
- 熱処理装置: 米国SPTS社AVP/RVP 等のパネル展示
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