MEMS Engineer Forum (MEF) 2023
April 19-20, 2023
KFC Hall, Ryogoku, Tokyo, Japan
MEF2014 - Forum Exhibitors
SPPテクノロジーズ
出展製品紹介
- ASEシリーズ(Predeus、Pegasus、Pegasus300、SRE)
- SiO2犠牲層エッチング装置： SLE-Oｘ、米国SPTS社uEtch
- Si犠牲層エッチング装置： 米国XACTIX社Xetchシリーズ(X4、e1)
- 化合物・酸化膜エッチング装置： APS
- SiCエッチング装置： APS
- プラズマ成膜装置： PE-CVD、英国SPTS社Delta
- 金属膜成膜装置(PVD)： 英国SPTS社Sigma
- 熱処理装置： 米国SPTS社AVP/RVP 等のパネル展示
Gold Sponsors
Silver Sponsors
Bronze Sponsors
EXHIBITORS
Regular Exhibitors
Venture Exhibitors
Academia Exhibitors
