MEF2014 - Forum Exhibitors

KDF-IR 赤外二重焦点検査装置　実機展示

シリコン基板を赤外透過し基盤の裏面と表面を同時観察。

チップの位置合わせやパターンずれ測定など様々な検査が可能です。

GEMINI 両面位置ずれ測定機　パネル展示

上下の2つの光学系により表裏を同時観察。

専用のソフトウエアによりサブミクロンの測定精度を実現。

光学系の組合せにより可視・可視、赤外・可視など様々なサンプルに対応します。

Luphos マルチ波長干渉　変位センサー　パネル展示

高精度かつワイドレンジな変位計測が可能です。

最大測定距離　100ｍｍ

分解能　　0.1nm

smarAct 超精密ポジショナー　実機展示

長ストロークピエゾステージ

1台のステージで粗調、微調が可能です。

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